방사광 이용 고효율 나노패턴 기술개발
방사광가속기 극자외선을 이용한 나노 패턴 조작에 관한 기사입니다.
포스텍 연구진이 개발한 신기술로 높이와 폭까지 나노미터 스케일에서 조절이 가능하다고 합니다.
이전까지의 미세공정에서 사용되던 화학적 방식보다 훨씬 안정적이고 미세한 공정이라고 하네요.
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방사광가속기 극자외선을 이용한 나노 패턴 조작에 관한 기사입니다.
포스텍 연구진이 개발한 신기술로 높이와 폭까지 나노미터 스케일에서 조절이 가능하다고 합니다.
이전까지의 미세공정에서 사용되던 화학적 방식보다 훨씬 안정적이고 미세한 공정이라고 하네요.